【摘 要】
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本文叙述了一种用于箱式镀膜机薄膜沉积监控的扫描单色仪系统。该系统使用的数据是由石英晶体振荡器和宽带透射光谱仪得来的。光谱仪利用全息光栅作色散元件并用CCD阵列采集
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本文叙述了一种用于箱式镀膜机薄膜沉积监控的扫描单色仪系统。该系统使用的数据是由石英晶体振荡器和宽带透射光谱仪得来的。光谱仪利用全息光栅作色散元件并用CCD阵列采集数据。所有的数据都送到微机进行显示,存贮和分析。本文还讨论了包括非均匀薄膜光学常数的测量和描述水气吸收特征的几种应用。
This article describes a scanning monochromator system for the monitoring of thin film deposition in box coating machines. The system uses data from quartz crystal oscillators and broadband transmission spectrometers. The spectrometer uses a holographic grating as a dispersive element and acquires data with a CCD array. All data are sent to the computer for display, storage and analysis. This article also discusses several applications that include the measurement and characterization of moisture absorption characteristics of non-uniform optical constants of films.
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