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本文主要论述基板负偏压与A3钢基体磁控溅射离子镀铝膜相组成的关系。磁控溅射离子镀铝膜不是简单的单质外接铝膜,而是铝和铁组成的合金膜。膜的相组成主要是基板负偏压所决定的。在一定的实验条件下,每种铁—铝合金相的出现都有一临界基板负偏压与之对应。
基板负偏压对A3钢基体磁控溅射离子镀铝膜相组成的影响
【摘 要】
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本文主要论述基板负偏压与A3钢基体磁控溅射离子镀铝膜相组成的关系。磁控溅射离子镀铝膜不是简单的单质外接铝膜,而是铝和铁组成的合金膜。膜的相组成主要是基板负偏压所决
【机 构】
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大连工学院,大连工学院,大连工学院,大连工学院,大连工学院,大连工学院,
【出 处】
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金属科学与工艺
【发表日期】
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1986年02期
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