【摘 要】
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对单腔体压电叠堆泵进行了结构设计，并制作了实验用样机。分析了阀的工作原理，在阀体选择上选用了一种简单的薄膜阀。设计了正弦信号发生器电路，将产生的正弦信号经过电压放大和
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对单腔体压电叠堆泵进行了结构设计，并制作了实验用样机。分析了阀的工作原理，在阀体选择上选用了一种简单的薄膜阀。设计了正弦信号发生器电路，将产生的正弦信号经过电压放大和功率放大后，作为该泵的电源驱动，并对该泵的工作性能进行较为系统的实验测试和研究。实验测试表明：该泵工作性能稳定，其流量的最佳工作频率约为25Hz，输出压力的最佳工作频率约为7Hz。
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