【摘 要】
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溅射离子泵房动时,需要预真空,其值因泵而异。对于准无油溅射离子泵系统及有液氮来源的部门来说,使用油封机械泵加液氮冷阱来启动溅射离子泵是比较理想的。这种方法不仅可以
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溅射离子泵房动时,需要预真空,其值因泵而异。对于准无油溅射离子泵系统及有液氮来源的部门来说,使用油封机械泵加液氮冷阱来启动溅射离子泵是比较理想的。这种方法不仅可以使返油率降低99％.而且运转方便.使用过程中没有粉尘,不需要前处理工序。
Sputtering ion pump chamber move, the need for pre-vacuum, the value varies with the pump. For quasi-oil-free sputter ion pump systems and those with liquid nitrogen sources, it is ideal to use an oil-sealed mechanical pump plus a liquid nitrogen trap to start the sputter ion pump. This method can not only reduce the oil return rate 99%, but also easy to operate, no dust during use and no pre-treatment process.
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