基于有限元法的面形反演模型

• 作 者: 刘永明 谢军 田伟 隋永新 刘震宇
• 机 构: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院大学
• 出 处: 光子学报
• 发表日期: 2014年8期
• 关键词: 绝对检测 旋转平均法 反演模型 干涉检测 ZERNIKE多项式 Absolute measurement Rotational averaging metho
• 基金项目: 国家科技重大专项（No.2009ZX02205）和国家自然科学基金（No.51275504）资助

为利用有限元法和面形检测结果反演出光学元件的面形，对面形检测结果进行分解，并对旋转平均法面形检测原理进行分析，讨论采用忽略光学元件自身面形的理想几何模型对其旋转非对称项面形误差进行有限元计算的理论可行性．在此基础上提出了基于有限元法反演光学元件面形的反演模型．以三点球支撑6inch平面镜为例，建立接触有限元模型计算旋转非对称项面形误差，对比了数值法和N步旋转平均法所获得的镜面旋转非对称项面形误差，结果显示，二者的旋转非对称项面形均方根值为分别为2．944nm和2．762nm，两种方法获得的面形相减结果分别