【摘 要】
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采用调制传递函数和波前像差分析方法,设计了基于偶次非球面反射镜和zernike自由曲面反射镜构成的放火倍数为80,相对孔径为2.8的三个离轴投影成像系统,其中第一片反射镜m1表
【机 构】
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哈尔滨师范大学光电带隙材料教育部重点实验室,黑龙江省先进功能材料与激发态重点实验室,物理与电子工程学院,牡丹江师范学院物理系
【基金项目】
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黑龙江省青年基金，黑龙江省教育厅骨干教师项目，哈师大预研项目，黑龙江省研究生创新科研资金项目
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采用调制传递函数和波前像差分析方法,设计了基于偶次非球面反射镜和zernike自由曲面反射镜构成的放火倍数为80,相对孔径为2.8的三个离轴投影成像系统,其中第一片反射镜m1表面为凹面用于减小第二片反射镜的尺寸及获得高的对比度,而第二片反射镜m2和第三片反射镜m3表面为凸面用于校正系统像差及获得更短的投影距离.经软件设计与分析,三系统中基于三片zernike自由曲面反射镜的成像系统光学性能最好,调制传递函数实现60 lp/mm时60％以上,畸变小于2.0％,与其它文献相比,基于三片zernike自由曲面反
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