【摘 要】
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ASM光刻公司本月将向IBM公司地处纽约的东菲什基尔工厂提交第一台生产型PAS5500/80i线步进机。 这种基价预计超过200万美元的系统具有30mm的像场直径,在150mm圆片时,其规定
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ASM光刻公司本月将向IBM公司地处纽约的东菲什基尔工厂提交第一台生产型PAS5500/80i线步进机。 这种基价预计超过200万美元的系统具有30mm的像场直径,在150mm圆片时,其规定流片率大于88片/时。该公司官员说,本系统是对0.5nm图形大批量生产最佳化的机型,在全负荷流片中,其规定分辨率为0.5μm,套刻精度高于85μm。而ASML的一位发言人则说,该系统能达到更高的分辨率。
ASM Lithography will be presenting its first production PAS5500 / 80i wire stepper to IBM Corp.’s East Fishkill plant in New York this month. The system, with a base price of more than $ 2 million, has an image field diameter of 30 mm and at 150 mm wafers, it specifies a tape rate greater than 88 wafers per hour. The company officials said that the system is optimized for mass production of 0.5nm graphics models, in the full load flow sheet, the provisions of the resolution of 0.5μm, overlay precision higher than 85μm. A spokesman for ASML said the system can achieve higher resolution.
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