【摘 要】
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本文利用磁控溅射工艺，研究了两种铁基和两种镍基不锈钢靶材的薄膜在０．１、０．５ 和 １．０ＮＨ２ＳＯ４溶液中的磨蚀性，并与 ２Ｃｒ１３不锈钢和 ４５钢进行比较，结果表明： 磁控溅射薄膜在同浓度的硫酸中，其抗磨蚀性由好至
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本文利用磁控溅射工艺，研究了两种铁基和两种镍基不锈钢靶材的薄膜在０．１、０．５ 和 １．０ＮＨ２ＳＯ４溶液中的磨蚀性，并与 ２Ｃｒ１３不锈钢和 ４５钢进行比较，结果表明： 磁控溅射薄膜在同浓度的硫酸中，其抗磨蚀性由好至差的顺序为： ２＃、３＃和 ４＃薄膜。 其中在１．０ＮＨ２ＳＯ４中，２Ｃｒ１３的磨蚀量比 ４＃薄膜的高出 ９３倍之多，４５钢的磨蚀量比 ４＃薄膜高出４４倍之多。还对薄膜的磨蚀机理进行了初步的探讨。
In this paper, using magnetron sputtering process, two kinds of iron-based and two nickel-based stainless steel target films in 0.1,0.5 and 1.0NH2SO4 solution of abrasive, and 2Cr13 stainless steel and 45 steel The results show that the order of the abrasion resistance of the magnetron sputtering films in the same concentration of sulfuric acid is from 2 # to 3 # and 4 #. In 1.0NH2SO4, the corrosion rate of 2Cr13 is 93 times higher than that of 4 # film, and the corrosion rate of 45 steel is 44 times higher than that of 4 # film. The mechanism of the abrasion of the film was also discussed.
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