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12MeV电子辐照技术在半导体器件中的应用
12MeV电子辐照技术在半导体器件中的应用
来源 :核物理动态 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mipanglin
【摘 要】
:
较全面地介绍了高能12MeV电力辐照技术的原理、方法、特点以及在快速二极管、晶体管、可控硅中的应用。
【作 者】
:
杭德生
【机 构】
:
南京大学物理系
【出 处】
:
核物理动态
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
电子辐照
半导体器件
应用
Semicondctor equations Avalanche generation Mixed boundary value p
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较全面地介绍了高能12MeV电力辐照技术的原理、方法、特点以及在快速二极管、晶体管、可控硅中的应用。
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