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简述了真空微二极管的结构参数设计考虑、工作特点、工艺制备技术。给出了微二极管不同温度下的Ｆ－Ｎ曲线及湿法腐蚀制备硅尖的开貌。该微二极管转换电压为２伏左右，发射锥尖电流为５μＡ／锥尖。
硅尖阵列二极管性能的研究
【摘 要】
：
简述了真空微二极管的结构参数设计考虑、工作特点、工艺制备技术。给出了微二极管不同温度下的Ｆ－Ｎ曲线及湿法腐蚀制备硅尖的开貌。该微二极管转换电压为２伏左右，发射锥尖电流为５μ
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1995年3期
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