辉光放电氮原子离子束源研制及其质谱研究

• 作 者: 郭钊 陈洁 王培南 李富铭
• 机 构: 复旦大学物理学系国家三束材料改性重点联合实验室!上海，200433,复旦大学物理学系国家三束材料改性重点联合实验室!上海，200433,复旦大学物理学系国家三束材料改性重点联合实验室!上海，20043
• 出 处: 复旦学报(自然科学版)
• 发表日期: 1998年06期
• 关键词: 辉光放电 行时间质谱 N~+／N~+_2比率 氮原子离子束 束源 原子态 质谱研究 质谱图 放电管 放电电流

采用辉光放电的方法产生氮原子离子束，束流中N+／N~+_2高达5∶1．用飞行时间质谱研究了束流的N~+／N~+_2比率与放电条件的关系，指出了提高N~+／N~+_2比率的途径．

A glow discharge method is used to generate nitrogen ion beams with N + / N ~ + _2 up to 5: 1 in the beam. The relation between the N ~ + / N ~ + _2 ratio of beam current and discharge condition was studied by time of flight mass spectrometry, and the way of increasing the ratio of N ~ + / N ~ + _2 was pointed out.