【摘 要】
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用氦质谱检漏仪进行检漏的方法有真空法、加压法和背压法三种,它们都有各自的特点和适用对象。然而真空法的应用更为广泛。因此了解这种方法的物理过程,对于正确选择检漏系
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用氦质谱检漏仪进行检漏的方法有真空法、加压法和背压法三种,它们都有各自的特点和适用对象。然而真空法的应用更为广泛。因此了解这种方法的物理过程,对于正确选择检漏系统、正确运用这种方法和解决检漏中出现的实际问题是非常必要的。
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