Studies of Correlations between Surface Composition Changes and Ion Bombardment Fluences of Multicom

来源 :Journal of Materials Science & Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：Lxue_hlp

【摘要】

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Correlations between surface composition changes and ion bombardment fluences were studied formulticomponent materials by using a dynamic Monte Carlo program,in

【出处】

：

Journal of Materials Science & Technology

【发表日期】

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1993年3期

【关键词】

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IMPLANTATION preferential SPUTTERING BIGS implantationpreferential sputteringBIG

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Correlations between surface composition changes and ion bombardment fluences were studied formulticomponent materials by using a dynamic Monte Carlo program,including the preferentialsputtering and bombardment-induced Gibbsian segregation （BIGS） processe

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