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创新人才培养与电子专业教学模式改革
【出 处】
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当代教育实践与教学研究（电子刊）
【发表日期】
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2018年12期
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为完成快速、精确的外观轮廓度量,设计了一种新型纳米级精度分光路双频干涉度量系统。系统由低频差双频激光干涉度量模块和微探头及二维工作台两部分组成。微探针以轻敲式接