金刚石高频SAW器件中关键材料的制备研究

• 作 者: 刘健敏 夏义本 王林军 阮建锋 苏青峰 史伟民
• 机 构: 上海大学材料科学与工程学院
• 出 处: 压电与声光
• 发表日期: 2006年6期
• 关键词: 自支撑金刚石膜 表面粗糙度 氧化锌薄膜 c轴择优取向 freestanding diamond film surface roughness ZnO thin

采用热丝化学气相沉积（CVD）法制备了自支撑金刚石膜，再通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜上。通过光学显微镜、扫描电镜（SEM）以及原子力显微镜（AFM）测试自支撑余刚石膜的表面形貌，结果表明，自支撑金刚石膜的成核面非常光滑，粗糙度约为10nm；拉曼光谱显示成核面在1333cm^-1附近有尖锐的散射峰，与金刚石的sp^3矿键相对应，非金刚石相含量很少；X-射线衍射分析（XRD）显示，沉积在自支撑金刚石膜。上的氧化锌薄膜为高度的C轴择优取向生长。