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微波等离子体的一个重要发展是电子回旋共振(ECR)放电,本文介绍ECR放电技术的现状和报告一种新型ECR等离子体源—横磁瓶ECR等离子体源,并叙述其原理和结构。更多还原
新型微波等离子体源
【摘 要】
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微波等离子体的一个重要发展是电子回旋共振(ECR)放电,本文介绍ECR放电技术的现状和报告一种新型ECR等离子体源—横磁瓶ECR等离子体源,并叙述其原理和结构。更多还原
【机 构】
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四川大学原子核科学技术研究所成都610064
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1993年3期
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