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等离子体化学反应在高频离子源中的应用,高频离子源中应用等离子体化学反应和非等离子体化学反应对于引出金属离子的区别已做过报导。这篇文章是叙述一种实验装置,利用它创造一个条件,为了使等离子体和非等离子体对金属的剥蚀速率可以进行比较,排除不同次实验中由于不易看到的条件变化形成的误差,也避免了实验工作者的习惯操作引起的差别。实验为高频离子源中应用等离子体化学反应选择什么结构提供了根据。