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采用氦离子检测器（PDHID）及以热导检测器（TCD）与火焰离子化检测器（FID）组合的两种不同气相色谱分析方法测定四氟化碳（CF4）中的杂质,结果表明氦离子化检测器（PDHID）灵敏度更高,检测限更低,更适用于电子气体CF4的检测。
氦离子色谱仪在四氟化碳分析中的应用
【摘 要】
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采用氦离子检测器（PDHID）及以热导检测器（TCD）与火焰离子化检测器（FID）组合的两种不同气相色谱分析方法测定四氟化碳（CF4）中的杂质,结果表明氦离子化检测器（PDHID）灵敏度更高,检测限更
【机 构】
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上海华爱色谱分析技术有限公司
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2010年5期
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