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利用X射线光电子能谱对PTCDA/p-Si有机/无机光电探测器中PTCDA/ITO表面和界面进行了测试分析。结果表明,茹环上的C原子的结合能为284.6eV,酸酐中的C原子的结合能为288.7eV,并存在来源于ITO膜中的氧对C原子的氧化现象,界面处C(1s)谱中较高结合能峰消失,且峰值向低结合能发生化学位移;C=O键中O原子的结合能为531.5eV,C-O-C键中的O原子的结合能为533.4eV。