柔性电容高频特性的测量与研究

• 作 者: 郭优 秦国轩
• 机 构: 天津大学电子信息工程学院
• 出 处: 天津理工大学学报
• 发表日期: 2016年2期
• 关键词: 电容器 等效电路 仿真 高频 柔性基体 capacitor equivalent circuit simulation high frequency f
• 基金项目: 国家自然科学基金（61376082）, 天津自然科学基金（13JCZDJC25900）

通过制作柔性基体上的电容,测量电容在高频（2~15 GHz）下的散射参数S、品质因子Q和电容值C,并用ADS软件为器件搭建等效电路模型,进行对实验数据的仿真拟合,得到了等效电路模型中各参数的合理值.通过对各参数的调整,得出仿真数据的变化以及和实验数据的偏离,从而得到各参数对器件性能的影响,进而为将来柔性电容甚至柔性器件的集成提供工艺上的指导.