激光衍射——CCD接收的矩形截面细丝在线测量

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本文导出了矩形截面细丝衍射测量的基本表达式,提出“选择测量”方案,并介绍了系统的工作原理。利用激光衍射、自动选测、CCD接收、信号处理等过程,成功地实现了矩形截面细丝的在线测量。测量的不确定度(2σ)优于±0.15μm。 In this paper, we derive the basic expression of the measurement of the rectangular cross-section filaments, propose the scheme of “selective measurement”, and introduce the working principle of the system. Using laser diffraction, automatic selection, CCD receiving, signal processing and other processes, the online measurement of rectangular cross section filaments has been successfully achieved. The measured uncertainty (2σ) is better than ± 0.15μm.
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