膜态组合对掺杂型负磁伸纳米级耦合膜磁性能的影响

• 作 者: 林梁琪 吴登阳 陈思河 黎思文 周白杨
• 机 构: 福州大学材料科学与工程学院
• 出 处: 真空电子技术
• 发表日期: 2012年5期
• 关键词: 稀土超磁致伸缩薄膜 掺杂 耦合 磁致伸缩 软磁特性 RGMFs Doping Coupling Magnetostriction Magnetic proper

采用离子束溅射沉积法,通过溅射Sm-Fe-B合金靶、Ni-Fe靶及纯Fe靶,在锡青铜和盖玻片衬底上溅射沉积由B掺杂的Sm-Fe-B负磁致伸缩薄膜与Ni-Fe、纯Fe组合的纳米级耦合薄膜材料.通过采用LK-500激光微位移传感器测量薄膜自由端偏转量,用交变梯度磁强计测试薄膜的磁滞回线,研究不同比例的膜态组合及不同软磁材料耦合的膜态组合对薄膜的磁致伸缩性能及软磁特性的影响.实验结果表明:磁致伸缩层与软磁层的比例为3:1时的磁致伸缩性能、软磁特性最佳；且在磁致伸缩层与软磁层耦合的比例为3:1基础上,通过改变耦合