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采用喷涂法在钼模具基底上沉积一层超细Al2O3,在H2气保护气氛下,经过高温烧结形成一层致密的α-Al2O3氧化膜.制备的模具结构尺寸精度较高,而且涂层氧化铝不与焊料浸润,克服了不锈钢模具配合间隙较难控制,三高石墨蒸散污染以及纯钼模具粘模的缺点.
氧化铝涂层钼模具的制备
【摘 要】
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采用喷涂法在钼模具基底上沉积一层超细Al2O3,在H2气保护气氛下,经过高温烧结形成一层致密的α-Al2O3氧化膜.制备的模具结构尺寸精度较高,而且涂层氧化铝不与焊料浸润,克服了
【机 构】
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中国科学院电子学研究所
【出 处】
：
真空电子技术
【发表日期】
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2013年4期
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