【摘 要】
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采用SDB/SOI材料制备ISFET型pH传感器,减少了衬底漏电,从而改善了pH传感器的温漂、时漂等特性。这种结构对pH传感器是有实用意义的。
The ISFET-type pH sensor fabricated
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采用SDB/SOI材料制备ISFET型pH传感器,减少了衬底漏电,从而改善了pH传感器的温漂、时漂等特性。这种结构对pH传感器是有实用意义的。
The ISFET-type pH sensor fabricated by SDB / SOI material can reduce the substrate leakage and improve the temperature drift and time drift of the pH sensor. This structure is of practical significance to the pH sensor.
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