【摘 要】
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本文描述了利用~(14)N(d,a_1)~(12)C核反应测量固体样品表面层内氮原子含量及深度分布的方法。在Si_3N_4标准样品中,所得到的表面处的深度分辨为48nm。利用该分析手段,研究了
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所
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本文描述了利用~(14)N(d,a_1)~(12)C核反应测量固体样品表面层内氮原子含量及深度分布的方法。在Si_3N_4标准样品中,所得到的表面处的深度分辨为48nm。利用该分析手段,研究了在不同注入温度条件下,氮离子注入纯铁和GCr15钢的保留量及深度分布的变化情况。
This paper describes a method for measuring the nitrogen content and depth distribution in the solid sample surface using ~ (14) N (d, a_1) ~ (12) C nuclear reactions. In the Si_3N_4 standard sample, the depth at the resulting surface was resolved to 48 nm. Using this analysis method, the variation of retention and depth distribution of pure iron and GCr15 steel infiltrated by nitrogen ions under different injection temperatures were studied.
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