【摘 要】
：
等离子体化学汽相淀积(简称PECVD)技术,由于淀积温度低(
论文部分内容阅读
等离子体化学汽相淀积(简称PECVD)技术,由于淀积温度低(<400℃);台阶覆盖性能好;生成的氮化硅薄膜结构致密;针孔少;具有良好的抗钠、抗潮湿、抗腐蚀性等优点。故已广泛地应用于半导体器件的表面钝化。现以DD-P250型等离子体淀积设备为例进行讨论。该设备由华东师范大学、上海元件
Plasma chemical vapor deposition (referred to as PECVD) technology, due to the low deposition temperature (<400 ℃); good step coverage; the resulting silicon nitride film structure dense; less pinholes; with good resistance to sodium, , Corrosion resistance and other advantages. It has been widely used in the semiconductor device surface passivation. Now DD-P250 type plasma deposition equipment as an example for discussion. The equipment from East China Normal University, Shanghai components
其他文献
[案例背景]rn随着科技的飞速发展与进步,小学信息技术(简称“T”)正成为一门集知识型、实践型、技能型、创新型于一体的基础教育课程.在教学时,让学生动手实践的环节必不可少
小狐狸的狡猾在森林里是出了名的,所以,他的名声一直不够好。但是,小狐狸异常聪明,总爱琢磨一些高科技的东西,对科学有着超强的快速接受能力。不久,他发挥个人所长开了一家“
随着新课改理念多年以来的推行,小学语文教学观念不断改变,教学方式创新屡见不鲜,带动每位小学语文教师思考如何打造高校课堂.语文学科是一门实践与综合性的课程,传统的小学
据海关统计,今年前8个月,我国机电产品出口2590.9亿美元,同比增长33％,占同期出口总值的54．5％。同时,由于中国本土企业将产品研发、销售的注意力更多地转向利润较高的海外市场,中
目的:建立基于变性高效液相色谱法(DHPLC)的快速筛检错配修复基因hMLH1和hMSH2微小突变的技术平台。方法:自行设计PCR扩增hMLH1和hMSH2各外显子的引物,应用DHPLC检测26个遗传
近年来,集体备课对改进课堂教学,提升教师教学能力和水平发挥了积极作用。随着新课程改革的不断深入和校本研修理念的确立,构建实效的集体备课模式愈发重要。一、确立集体备
对于个体人来说,“阅读”既是探索未知和启智益能的重要途径,又是修身养性和健康成长的主要方式.对于语文活动来说,“阅读”既是不容忽视的“基础项”和“常规项”,又是无可
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
在老一辈无产阶级革命家中,第七届全国人大常委会委员长万里,不仅是一个对自己严格要求的人,而且对其子女、身边工作人员的要求也极为严格。尽管儿女们早已成家立业,老大、老
慕焦氏脸谱的盛名而来,没料到这一国粹珍宝仍在小巷深闺中。出固安县城,沿廊涿路西行五六公里,就是因焦氏脸谱而闻名的宫村镇北马村。进村几十米远,凭着网上照片得来的印象,