【摘 要】
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采用脉冲激光沉积技术(PLD)在SrTiO3(100)单晶衬底上制备YBCO薄膜,用X射线对薄膜的取向和织构进行表征,用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的表面形貌进行观察.实验主要研究了衬底
【机 构】
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北京有色金属研究总院超导材料研究中心,国家有色金属质量监督检验中心,
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采用脉冲激光沉积技术(PLD)在SrTiO3(100)单晶衬底上制备YBCO薄膜,用X射线对薄膜的取向和织构进行表征,用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的表面形貌进行观察.实验主要研究了衬底温度对薄膜外延取向的影响,结果表明在770℃温度下制备的YBCO有较多的a轴晶粒生成,在800℃温度下制备的YBCO是纯的c轴取向,且平均面内φ扫描半高宽(FWHM)为1.2°,超导转变宽度(△Tc)为0.9K.
YBCO films were prepared on SrTiO3 (100) single crystal substrate by pulsed laser deposition (PLD). The orientation and texture of the films were characterized by X-ray diffraction. The surface morphology of the films was observed by scanning electron microscopy The experiment mainly studied the effect of substrate temperature on the epitaxial orientation of the films. The results show that YBCO prepared at 770 ℃ has more a-axis grain growth and YBCO prepared at 800 ℃ is a pure c-axis orientation. And the average in-plane φ-scan FWHM is 1.2 °, and the superconducting transition width (ΔTc) is 0.9K.
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