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期刊论文
PVD磁控溅射涂层的质量控制
PVD磁控溅射涂层的质量控制
来源 :中国包装工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:degr5
【摘 要】
:
本文主要介绍了PVD磁控溅射涂层的质量控制方法。 This article mainly introduces the quality control method of PVD magnetron sputtering coating.
【作 者】
:
刘英军
田霰
【机 构】
:
赛利涂层技术有限公司,
【出 处】
:
中国包装工业
【发表日期】
:
2012年07期
【关键词】
:
PVD
涂层
磁控溅射
物理修复
基体材料
薄膜技术
质量控制点
表面处理
基体
真空镀膜
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本文主要介绍了PVD磁控溅射涂层的质量控制方法。 This article mainly introduces the quality control method of PVD magnetron sputtering coating.
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