【摘 要】
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使用晶圆测试实验室中的常见设备,就可获得精确的测量值电阻值的测量通常比较简单。但是,对于非常小阻值的测量,我们必须谨慎对待我们所做的假定。对于特定的几何形状,如电线
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使用晶圆测试实验室中的常见设备,就可获得精确的测量值电阻值的测量通常比较简单。但是,对于非常小阻值的测量,我们必须谨慎对待我们所做的假定。对于特定的几何形状,如电线,Kelvin方法是非常精确的。可以使用类似的方法来测量均匀样本的体电阻率和面电阻率,但是所使用的公式
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