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针对客户提出利用激光加工设备在无街区的PZT陶瓷表面进行直线切割的工艺要求，改变激光加工设备以往只针对晶片表面街区切割的单一加工模式，设计并实现新的激光加工工艺时序，拓展了激光加工设备的应用领域。
激光加工中切割PZT陶瓷的时序设计
【摘 要】
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针对客户提出利用激光加工设备在无街区的PZT陶瓷表面进行直线切割的工艺要求，改变激光加工设备以往只针对晶片表面街区切割的单一加工模式，设计并实现新的激光加工工艺时序，拓
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年4期
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