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以SnCl4·5H2O和SnCl2·2H2O为Sn源,分别以SnF2、SbCl3和La(NO3)3·6H2O为掺杂剂,采用溶胶−凝胶−气相沉积法制备了SnO2基导电膜,主要研究掺杂剂的掺入对薄膜的表面形貌、微观晶体结构及光电性能的影响,探讨其掺杂机理。通过四探针电阻率/方阻测试仪、双光束紫外可见分光光度计、扫描电子显微镜、X射线粉末衍射仪和X射线光电子能谱分析系统等设备对SnO2基导电膜进行测试分析。结果表明:采用3种掺杂剂制备的SnO2基导电膜均为四方金红石结构,其表面形貌