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为提高微动工作台开环控制的定位精度,选用了性能稳定的新型钨青铜型多层片式压电陶瓷驱动器作为驱动元件.同时根据压电晶体的电畴结构和晶体结构原理,研制出抗迟滞驱动控制软件.实验证明,采用了这种新的驱动方式可以使驱动器的迟滞误差下降70％~90％.
钨青铜系列压电陶瓷驱动器迟滞特性的改善
【摘 要】
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为提高微动工作台开环控制的定位精度,选用了性能稳定的新型钨青铜型多层片式压电陶瓷驱动器作为驱动元件.同时根据压电晶体的电畴结构和晶体结构原理,研制出抗迟滞驱动控制
【机 构】
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合肥工业大学仪器仪表学院合肥工业大学机械与汽车工程学院
【出 处】
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中国仪器仪表学会第五届青年学术会议
【发表日期】
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2003年8期
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