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日本尼康公司发表了远远超过传统光学系统衍射极限的超分辨率光刻技术。
打破光学界限的超分辨率
【摘 要】
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日本尼康公司发表了远远超过传统光学系统衍射极限的超分辨率光刻技术。
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1995年3期
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