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通过光蚀刻进行材料去除，是利用准分子激光器使塑料、陶瓷、玻璃；金属、半导体及复合材料结构成型的基础。去除的深度达到每个脉冲几纳米至几微米，它取决于材料、波长和能量密度等。如使用紫外辐射，则结构的尺寸可达到微米和亚微米级，而不至烧坏其余的材料。
准分子激光器微细材料加工
【摘 要】
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通过光蚀刻进行材料去除，是利用准分子激光器使塑料、陶瓷、玻璃；金属、半导体及复合材料结构成型的基础。去除的深度达到每个脉冲几纳米至几微米，它取决于材料、波长和能量密度
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1995年2期
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