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针对高功率微波介质沿面闪络击穿物理过程，首先建立了理论模型，包括：动力学方程、粒子模拟算法、二次电子发射，以及电子与气体分子蒙特卡罗碰撞模型、电子碰撞介质表面退吸附气体分子机制；其次，基于理论模型，编制了1D3VPIC—MCC程序，分别针对真空二次电子倍增、高气压体电离击穿和低气压面电离击穿过程，运用该程序仔细研究了电子和离子随时间演化关系、电子运动轨迹、电子及离子密度分布、空间电荷场时空分布、电子平均能量、碰撞电子平均能量、碰撞电子数目随时间演化关系、电子能量分布函数、平均二次电子发射率以及能量转换关系