【摘 要】
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金刚石微粒层,借助于高温阴极热化学气相沉法(CVD),在钛(Ti)、铪(Hf)、铌(Nb)、钽(Ta)、钼(Mo)和钨(W)难熔金属表面上而获得。用SEM扫描电子显微镜和X射线衍射技术,研究了在
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金刚石微粒层,借助于高温阴极热化学气相沉法(CVD),在钛(Ti)、铪(Hf)、铌(Nb)、钽(Ta)、钼(Mo)和钨(W)难熔金属表面上而获得。用SEM扫描电子显微镜和X射线衍射技术,研究了在金刚石成核、生长和形态方面与基片材料和沉积时间的影响。在沉积的初期阶段证实:形成的碳化层和亚碳化层,具有阻止碳扩散进入基片的能力,有利于使金刚石晶核的形成。
Diamond microparticle layer is formed by means of high-temperature cathode thermal chemical vapor deposition (CVD) in the presence of titanium (Ti), hafnium (Hf), niobium (Nb), tantalum (Ta), molybdenum (Mo) Obtained surface. The effect of substrate material and deposition time on the nucleation, growth and morphology of diamond was investigated by SEM scanning electron microscopy and X-ray diffraction. In the early stages of deposition, it was confirmed that the formation of carbonitrides and carbonitrides has the ability to prevent carbon from diffusing into the substrate, which is advantageous for the formation of diamond nuclei.
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