【摘 要】
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介绍了高速小型传动链动态精度测量系统(QHSS)、高精度小型分度光栅式传感器的设计与研制以及提高测量精度、装置的分辨率、传动链转速(>3000r/min)和传感器信号频率(>1MHz)的途径。
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介绍了高速小型传动链动态精度测量系统(QHSS)、高精度小型分度光栅式传感器的设计与研制以及提高测量精度、装置的分辨率、传动链转速(>3000r/min)和传感器信号频率(>1MHz)的途径。
This paper introduces the design and development of high precision and small scale dynamic range measurement system (QHSS), high accuracy and small scale grating sensor, as well as the improvement of measurement accuracy, the resolution of the device, the speed of the transmission chain (> 3000r / min) and the sensor signal frequency > 1MHz) approach.
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