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本文回顾了近十年来，真空微电子在材料（硅、金属、砷化镓和金刚石膜）、制备工艺、阴极结构及应用等方面的进展。并详细介绍一些新阴极结构的制备方法与特点，供选择参考。
真空微电子的发展
【摘 要】
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本文回顾了近十年来，真空微电子在材料（硅、金属、砷化镓和金刚石膜）、制备工艺、阴极结构及应用等方面的进展。并详细介绍一些新阴极结构的制备方法与特点，供选择参考。
【机 构】
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东南大学电子工程系
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1998年2期
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