SiCF的热解碳涂层的制备

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:perfew
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以C3H6为源气体,N2为稀释气,在800℃~1200℃温度范围内,SiC纤维上进行了热解碳的沉积。研究了沉积温度、系统压力和PN√Pc。对热解碳沉积速率和沉积层形貌的影响。结果表明:在沉积温度低于900℃,系统总压小于1KPa条件下,沉积速率低,难以进行热解碳的沉积。随着沉积温度、系统压力升高,沉积速率升高,沉积层形貌发生改变。过低的PN2/PC3H6导致不均匀的热解碳沉积形貌,局部有碳颗粒的生成。沉积温度为1000℃、系统总压10KPa左右、PN,/Pc,H.为2:1的条件下可获得均匀致密的热解碳沉积
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