论文部分内容阅读
基于CMOS工艺,提出了一种多层金属螺旋电感宽频带等效电路模型.对于多层金属螺旋电感,传统基于频变参量的等效电路模型已不再适用,而该模型引入RL枝节和互感来表征层间金属趋肤效应和邻近效应,用并联RC枝节来表征同层金属和不同层间金属在衬底的耦合效应.此模型以0.35μm 2P4M硅工艺制造的电感验证,测量结果与模型仿真结果在宽频带均具有良好的一致性.