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期刊论文
电容式测压微型传感器
电容式测压微型传感器
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qwert526
【摘 要】
:
文中主要介绍一种新型电容式测压微传感器的结构及测量电路.通过对测量电路的理论分析、仿真和实验验证,证明这种微型传感器由于采用独特的结构和测量电路,因而具有良好的线
【作 者】
:
许金海
冯勇建
卓勇
【机 构】
:
厦门大学机电工程系,福建省厦门市,361005
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
微传感器
电容式
压力测量
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文中主要介绍一种新型电容式测压微传感器的结构及测量电路.通过对测量电路的理论分析、仿真和实验验证,证明这种微型传感器由于采用独特的结构和测量电路,因而具有良好的线性范围和较高的灵敏度,并能有效地减小温度误差.
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