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【摘 要】
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虽然微型机电系统的制造通常使用基于集成电路工艺的平面制造技术,但由于MEMS器件的三维特性,使它与IC的制造有很大不同.而且,它涉及复杂的多能量域问题,给设计分析带来了较
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,北京市,100084
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2004年期
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