改建CVD系统制备金刚石薄膜

• 作 者: 吴小国 曲长庆 朱宁 陈希明 常明
• 机 构: 天津理工学院光电信息与电子工程系,天津理工学院光电信息与电子工程系,天津理工学院光电信息与电子工程系,天津理工学院光电信息与电子工程系,天津理工学院光电信息与电子工程系 天津300191,天津3001
• 出 处: 天津理工学院学报
• 发表日期: 2002年02期
• 关键词: 化学气相沉积(CVD) 金刚石薄膜 Raman光谱 X射线衍射

用一台常规的真空镀膜机改建为化学气相沉积 (CVD)系统 ,并用以制备金刚石薄膜 .采用SEM、XRD、Raman测试表明 ,金刚石薄膜质量较好 .

A conventional vacuum coating machine was rebuilt into a chemical vapor deposition (CVD) system and used to prepare diamond films.The SEM, XRD and Raman tests showed that diamond films were of good quality.