【摘 要】
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日本富士通公司试制成功了制作下一代大规模集成电路(LSI)所必需的铜制超微细导线。最小线径0.25μm,为目前采用双层重叠配线方式的CSI配线的二分之一。实验证明,它可在足以
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日本富士通公司试制成功了制作下一代大规模集成电路(LSI)所必需的铜制超微细导线。最小线径0.25μm,为目前采用双层重叠配线方式的CSI配线的二分之一。实验证明,它可在足以导致目前铝配线熔断的强电流密度下工作,使用寿命也比铝线提高了100倍以上。据称,现已开始对铜制极细导线
Japan’s Fujitsu trial production of the next generation of large-scale integrated circuits (LSI) necessary for the ultra-fine copper wire. The smallest wire diameter is 0.25μm, which is one-half of the current CSI wiring using double-layer overlap wiring. Experiments show that it can work at a high current density that is enough to cause the current aluminum wiring to blown, and its service life is more than 100 times that of aluminum. Allegedly, the fine copper wire has now begun
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