一个新型的单极质谱仪

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仅12吋长(即30厘米左右),不用磁场,可进行450℃的烘烤,并可工作在高温下。通用电气公司研制的单极质谱仪是市售质谱仪中主要的一种,专门用于高真空和超高真空的气体分析。可测质量范围到300原子质量单位(amu)。在250 amu以内,相邻峰值分辨得很清楚,可测的总压强和分压强小于10~(-13)乇。在该管上接一个真空小室后可以进行离子注的研 Only 12 inches long (about 30 cm), without a magnetic field, can be 450 ℃ baking, and can work at high temperatures. The unipolar mass spectrometer developed by General Electric Company is one of the major types of commercially available mass spectrometers and is specifically designed for gas analysis in high vacuum and ultrahigh vacuum. Measurable mass range to 300 atomic mass units (amu). Within 250 amu, the adjacent peaks are well resolved and the measurable total pressure and partial pressure are less than 10 to (-13) Torr. After the tube connected to a vacuum chamber ion implantation research
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