Electron beam deposition and characterization of thin film Ti-Ni for shape memory applications

来源 :稀有金属：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gaods

【摘要】

：

Thin film of Ti-Ni alloy has a potential to perform the microactuation functions required in the microelectromechanical system (MEMS).It is essential, however,

【作者】

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NOH Hae-Yong JEE Kwang-Koo LEE

【机构】

：

DepartmentofMetallurgicalSystem,AdvancedMaterialsResearchCenter

【出处】

：

稀有金属：英文版

【发表日期】

：

2006年z2期

【关键词】

：

electron beam EVAPORATION TINI SMA thin film martensitic TRANSFORMATION REVERSE

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Thin film of Ti-Ni alloy has a potential to perform the microactuation functions required in the microelectromechanical system (MEMS).It is essential, however, to have good uniformity in both chemical composition and thickness to realize its full potentia

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