【摘 要】
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声表面波技术 作 者 (期—页 )基于硅表面加工工艺的射频体声波滤波器研究丛 鹏 ,刘燕翔 ,任天令 ,刘理天 (1 -1 )……………………………………………基片开槽抑制 SAW滤
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声表面波技术 作 者 (期—页 )基于硅表面加工工艺的射频体声波滤波器研究丛 鹏 ,刘燕翔 ,任天令 ,刘理天 (1 -1 )……………………………………………基片开槽抑制 SAW滤波器体声波的工艺研究张传志 (1 -4)………………………………………………………………………Ga As单片
Surface Acoustic Wave Technology Author (s): A Study of RF BAW Filter Based on Silicon Surface Processes Cong Peng, Liu Yanxiang, Ren Tianling, Liu Litian (1 -1) ............................................. ...... Slot Slot Inhibition of SAW Filter Bulk Acoustic Wave Process Zhang Chuanzhi (1 -4) ......................................................................................................................................................... Ga As Monolithic
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