【摘 要】
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Microfabrication, the generation of small structures is essential for much of themod science and technology. Traditional technology of lithography is expensive
【机 构】
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Institute of Mechanics, CAS, Beijing 100080, China
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Microfabrication, the generation of small structures is essential for much of themod science and technology. Traditional technology of lithography is expensiveand limited to generate micropatt on surfaces of materials. Recently, anotherkind of technology of so-called soft-lithography is developed.rn
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