【摘 要】
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基于严格耦合波理论,提出了金属介质膜光栅(MMDG)的带宽评价函数和波长偏离评价函数,并对宽光谱MMDG结构参数进行优化。数值模拟分析表明,当MMDG的槽深为290nm、剩余厚度为10
【机 构】
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青岛大学物理科学学院,山东省高校光子学材料与技术重点实验室(青岛大学),
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基于严格耦合波理论,提出了金属介质膜光栅(MMDG)的带宽评价函数和波长偏离评价函数,并对宽光谱MMDG结构参数进行优化。数值模拟分析表明,当MMDG的槽深为290nm、剩余厚度为10nm、占空比取0.28和入射角为60°时,对以1053nm为中心波长的TE波,其-1级衍射效率优于97%的带宽达到190nm。对结构参数分析表明,设计的宽光谱MMDG工艺容差比较大,满足光栅的制备要求。
Based on the strict coupled wave theory, the bandwidth evaluation function and wavelength deviation evaluation function of metal dielectric film grating (MMDG) are proposed, and the structural parameters of wide-spectrum MMDG are optimized. Numerical simulation shows that the -1 order diffraction efficiency of TE wave centered at 1053nm is better than 97 when MMDG has a groove depth of 290nm, a residual thickness of 10nm, a duty cycle of 0.28 and an incident angle of 60 ° % Of the bandwidth to 190nm. The analysis of the structural parameters shows that the designed wide-spectrum MMDG process has relatively large tolerance and meets the preparation requirements of the grating.
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