【摘 要】
：
在传统双边四梁微加速度计结构的基础上,设计了一种新型MEMS低量程微加速度计,量程为±10 g。用ANSYS有限元软件对加速度计的结构建立仿真模型,进行应力、模态及抗冲击能力分
【机 构】
：
中北大学电子测试技术国家重点实验室,
论文部分内容阅读
在传统双边四梁微加速度计结构的基础上,设计了一种新型MEMS低量程微加速度计,量程为±10 g。用ANSYS有限元软件对加速度计的结构建立仿真模型,进行应力、模态及抗冲击能力分析。加速度计供电电压为5 V时,灵敏度理论值达到1.029 mV/g,与传统结构相比,极大地提高了低量程微加速度计的灵敏度。
Based on the structure of the traditional bilateral four-beam micro-accelerometer, a new MEMS low-range micro-accelerometer is designed with a range of ± 10 g. ANSYS finite element software is used to simulate the structure of accelerometer, and the stress, modal and impact resistance are analyzed. The accelerometer supply voltage of 5 V, the theoretical theoretical value of 1.029 mV / g, compared with the traditional structure, greatly improving the sensitivity of low-range micro-accelerometer.
其他文献
目的初步探讨血清与尿液中血管生成素样蛋白3(ANGPTL3)和4(ANGPTL4)在原发性肾病综合征（PNS）中的临床意义。方法收集2012年9月至2013年8月复旦大学附属儿科医院肾脏风湿科PNS住院患儿180例为研究对象，纳入健康体检儿童18例为对照组。运用酶联免疫吸附法（ELISA）检测血清及尿液样本中ANGPTL3和4的浓度；采用全自动生化分析仪检测尿蛋白（Up）、尿肌酐（Ucr）、血肌酐
在企业文化中,在社会的高速发展,经济的不断增长的大数据时代,各种新兴科学技术的不断发展和行业间存在着的越来越激烈的竞争力,使得企业在生存和发展上都面临着巨大的挑战.
油温对液压系统有至关重要的影响。武钢炼钢总厂三分厂2号连铸机中心液压室油温一直偏高,造成系统压力不稳定、漏油频繁、液压元件频繁损坏,严重影响连铸机安全稳定运行。通
目的初步研究老年女性2型糖尿病患者睡眠障碍与骨质疏松症的关系。方法2011年7月至2014年7月，将536例60岁以上的女性2型糖尿病患者，按匹兹堡睡眠质量指数分为无睡眠障碍组和睡眠障碍组，应用双能X线骨密度仪测量股骨颈、Wards三角区、大转子、腰椎L2~L4的骨密度值，将患者再分为无骨质疏松症组和骨质疏松症组。测定生化指标，行口服葡萄糖耐量试验(OGTT)及胰岛素、胰高糖素释放试验，比较两组骨
肱骨近端是上肢骨折的好发部位之一.随着工伤、交通事故等高能量致伤因素的增加,其发病率不断上升,且骨折类型呈现新的特点,尤其是我国已进入老龄化社会,老年性肱骨近端骨折
1.何谓"变格"中国营城注重整体格局的谋划和设计,追求方正平直的环境秩序,但在实践中结合所处大地山川的具体特点,善于适应环境形势的变化对城市格局进行巧妙调适,形成灵活多变的空间布局。此种布局模式,本文称之为"变格"。"变格"本义为格律诗正格变化后形成新的格体。《说文》释义:"变"即更也,《小尔雅》释义:"变"即易也,"格"即格局规制。在中国古代营城中,"变
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
加强集中采购、物流、供应链等管理,提高物资集约化管理水平,是国家电网公司“三集五大”的重要内容,配网物资管理水平和工作质量直接关系到电力企业的配电网建设和运营、供